●マスク浮きでパターン輪郭精度が出ない

●マスクのアライメントが煩雑で精度も悪い

●ウエハーとメタルマスクの膨張係数を合わせたい

●難エッチング材の処理で困っている

この様な問題でお困りの際は当社のマスク成膜成膜システムを是非ご検討下さい。

当社の「マスク成膜システム」は以下のコンポーネントをシステムでご提供するサービスです。

１）専用ホルダー

・対応ウエハーサイズ　３〜12インチ

・マグネット回路による強力なマスク密着

・各種専用設計が可能です

・ガラスなどの角形ウエハーにも対応します。

２）メタルマスク

・42Alloy等の低熱膨張材

・Siと熱膨張係数を合わせた特殊複合材マスク

・電鋳製高精度マスク

　など各種マスクの製作も対応いたします

３）アライメント装置

・当社専用ホルダーに合わせた専用機です

・アライメント中はマスクとウエハーが非接触のプロキシミティアライメント

・画像処理によるオートアライメント

・ワークの自動供給、排出などのフルオート機も設計製作いたします。

４）成膜評価サービス

導入までの成膜評価がご必要でしたら、蒸着、スパッタなどの各種成膜方式での初期評価サービスも対応いたします

マスク成膜システムに関してのお問い合せ

(株)システム技研　横浜事務所

TEL　045-211-8211

Email　osaka＠sys-gi.co.jp　　（＠を小文字の@へ変更して下さい）